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集微网消息,国知局消息显示,甬矽电子(宁波)股份有限公司“晶圆打印治具”专利获授权,授权公告日为6月23日,授权公告号为CN219234270U。

图片来源:国知局

专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶圆打印治具,涉及晶圆刻印技术领域,该晶圆打印治具包括晶圆放置盘和晶圆保护罩,晶圆放置盘用于放置晶圆;晶圆保护罩设置在晶圆放置盘上,并用于罩设在晶圆外;其中,晶圆保护罩上还开设有激光镂空槽,激光镂空槽用于与晶圆的边缘对应,并将晶圆的边缘区域外露。

据悉,相较于现有技术,本实用新型提供的晶圆打印治具,能够有效防止烧灼物漂浮于晶圆表面导致的晶圆污染问题,同时能够避免打印偏移,避免损坏晶圆有效区域。(校对/赵碧莹)

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